minimum detectable quantity

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

≤0.1μL/L

CO（H₂）

≤0.5μL/L

precision

Small range SO₂+SOF₂、H₂S

measurement value≤10μL/L,error≤±0.5μL/L

measurement value＞10μL/L時,error≤±5%   

Large-scale SO₂+SOF₂

Error≤±3%

HF

Error≤±0.3μL/L

CO（H₂）

measurement value≤50μL/L時,error≤±2μL/L

measurement value＞50μL/L時,error≤±4%

linearity

SO₂+SOF₂、H₂S、HF、CO（H₂）

≥99.9％

repeatability

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

measurement value≤10μL/L時,error≤0.2μL/L

measurement value＞10μL/L時,error≤2%  

CO（H₂）

measurement value≤50μL/L時,error ≤1μL/L

measurement value＞50μL/L時,error ≤2%

range

SO₂+SOF₂

0～100μL/L,0～2000μL/L

H₂S

0～100μL/L

HF

0～20μL/L

CO（H₂）

0～500μL/L,0～1000μL/L